检测头 |
| 种类 |
形状 |
检测中心距离 |
分辨率
(注1)(注2) |
型号 |
组合控制器 |
组合操作盘 |
适用标准 |
扩
散
反
射
型 |
宽量程 |
 |
350mm
(测定范围±200mm) |
10μm |
HL-C135C-BK10 |
HL-C1C-WL
HL-C1C-M-WL |
HL-C1DP-WL
HL-C1DP-E-WL |
JIS/IEC
/FDA |
| 通用 |
 |
85mm
(测定范围±20mm) |
2μm |
HL-C108B-BK |
HL-C1C
HL-C1C-M |
HL-C1DP
HL-C1DP-E |
JIS/IEC |
| HL-C108F-BK |
FDA |
粗糙表面
工件用 |
HL-C108B-MK |
JIS/IEC |
| 高精度 |
 |
50mm
(测定范围±5mm) |
1μm |
HL-C105B-BK |
JIS/IEC |
| HL-C105F-BK |
FDA |
粗糙表面
工件用 |
HL-C105B-MK |
JIS/IEC |
正
反
射
型 |
通用 |
 |
50mm
(测定范围±5mm) |
2μm |
HL-C108B |
JIS/IEC |
| HL-C108F |
FDA |
| 高精度 |
 |
46mm
(测定范围±4mm) |
1μm |
HL-C105B |
JIS/IEC |
| HL-C105F |
FDA |
超高精度
间隙测定 |
 |
25mm
(测定范围±1mm) |
0.3μm |
HL-C102A |
HL-C1C-GS
HL-C1C-M-GS |
HL-C1DP-GS
HL-C1DP-E-GS |
JIS/IEC | |
注：
1) 通过将P-P值换算成距离得到这些值。P-P值表明通过检测中心距离测定值的分布。
2) 采用本公司标准的白陶瓷测定物体(正反射型使用铝蒸汽喷镀表面反射镜)、平均样品数为256时。 |
控制器 |
小型操作盘 |
| 种类 |
形状 |
型号 |
判断输出 |
| 标准型 |
 |
HL-C1C |
N通道
开漏 |
| HL-C1C-M |
光电继电器 |
| HL-C102A专用 |
HL-C1C-GS |
N通道开漏 |
| HL-C1C-M-GS |
光电继电器 |
HL-C135C-BK10
专用 |
 |
HL-C1C-WL |
N通道开漏 |
| HL-C1C-M-WL |
光电继电器 | |
| 种类 |
形状 |
型号 |
| 标准型 |
日文版 |
 |
HL-C1DP |
| 英文版 |
HL-C1DP-E |
HL-C1C-GS
(HL-C102A)专用 |
日文版 |
HL-C1DP-GS |
| 英文版 |
HL-C1DP-E-GS |
HL-C1C-WL
(HL-C135C-BK10)
专用 |
日文版 |
HL-C1DP-WL |
| 英文版 |
HL-C1DP-E-WL | |
